中化新網(wǎng)訊 5月27日，由北京化工大學等單位共同完成的超純凈電子化學品高效、綠色制造技術(shù)項目，在北京通過了由中國石油和化學工業(yè)聯(lián)合會組織的成果鑒定。由中國科學院院士、清華大學教授費維揚，中國化工學會教授級高工王玉慶等7位專家組成的鑒定委員會一致認為，項目團隊發(fā)明了超純凈電子化學品高效提純系列技術(shù)與裝備，實現(xiàn)了裝備的自主生產(chǎn)和成功應用，其核心技術(shù)處于國際領先水平。

根據(jù)鑒定意見，項目組發(fā)明了新型結(jié)構(gòu)高效分離填料，分離效率優(yōu)于國際同類先進水平，制備的超純凈芯片用電子化學品產(chǎn)品指標達到或優(yōu)于國際同類產(chǎn)品；發(fā)明了適用于高效脫除金雜和固體顆粒物的高效絲網(wǎng)除霧器，壓降低、除霧效率高；發(fā)明了精餾與結(jié)晶等有機結(jié)合的協(xié)同高效提純新工藝，顯著提高了產(chǎn)品純度、降低了能耗與成本。

同時，上述系列技術(shù)均具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)，并已獲得廣泛的工業(yè)化應用，成功用于生產(chǎn)新一代硅基材料、系列化濕電子化學品、電子特氣等，近3年來取得了顯著的經(jīng)濟效益和社會效益。其中，所產(chǎn)純度達99.9999%的乙硅烷，質(zhì)量和能耗優(yōu)于國際先進水平，產(chǎn)品已穩(wěn)定供應芯片公司；所產(chǎn)電子級鹽酸等系列濕電子化學品，金屬雜質(zhì)鈣、鎂、鐵含量小于5ppt，質(zhì)量優(yōu)于國際同類產(chǎn)品；所產(chǎn)電子特氣、芯片稀土元素等，也均實現(xiàn)質(zhì)量和能耗先進。

鑒定會上，專家組對項目成果的自主知識產(chǎn)權(quán)和優(yōu)異的工業(yè)化應用成績尤為肯定。王玉慶稱贊該成果“是一個思路上的創(chuàng)新”。他表示，目前在經(jīng)典分離領域的創(chuàng)新越來越難，項目成果的取得實屬不易。該項目帶頭人北京化工大學傳質(zhì)與分離工程研究中心主任李群生告訴中國化工報記者，該項目已獲得國內(nèi)發(fā)明專利授權(quán)58件、國際專利授權(quán)3件。

鑒定專家組成員、中國海洋石油集團公司高級工程師李斌認為，項目成果有更廣闊的推廣應用空間。與會的多家行業(yè)領軍企業(yè)代表也表示出進一步合作意向。據(jù)李群生介紹，項目成果已在全國數(shù)十家企業(yè)應用，取得了顯著的社會效益、經(jīng)濟效益和生態(tài)環(huán)境效益。

電子化學品廣泛應用于集成電路、人工智能、電子信息、航空航天等領域。目前我國約90%高端電子化學品需求依賴進口，相關生產(chǎn)、提純技術(shù)難度極大，是亟待解決的產(chǎn)業(yè)難題。針對國家戰(zhàn)略需求，由李群生領銜的科研團隊面壁十年終破壁，取得了重大突破。（李東周）